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金属真空镀膜厂 龙门金属真空镀膜 泰坦金属制品有限公司
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?PVD真空镀膜金属真空镀膜

PVD真空镀膜过程的均匀性

PVD真空镀膜过程非常复杂,金属真空镀膜厂,由于镀膜原理的不同分为很多种类,仅仅因为都需要高真空度而拥有统一名称。所以对于不同原理的PVD真空镀膜,金属真空镀膜加工,影响均匀性的因素也不尽相同。并且均匀性这个概念本身也会随着镀膜尺度和薄膜成分而有着不同的意义。

薄膜均匀性的概念:

厚度上的均匀性,也可以理解为粗糙度,在光学薄膜的尺度上看(也就是1/10波长作为单位,约为100A),金属真空镀膜加工厂,真空镀膜的均匀性已经相当好,可以轻松将粗糙度控制在可见光波长的1/10范围内,也就是说对于薄膜的光学特性来说,真空镀膜没有任何障碍。




我们采用的是纯度在99.99%以上左右的锡或铟及铟锡合金。厚度在30纳米以下的锡,龙门金属真空镀膜,连续性相当的差,但能取得银白色金属光泽并具有较大的电阻。铟也是一样,但铟的银白色反光率更胜于锡的外观,因为价格较高,我们采用铟锡合金,这样既能得到不导电膜又能得到更白更亮的反光金属效果!镀铟锡不导电膜都是半透明的,所以我们要求被镀基材为透明或黑色为佳。因为镀铟锡都是在250度就开始溶化,所以蒸发的温度也相对较低,这样加热熔化及蒸发的电流和时间相对也较低。




3.晶格有序度的均匀性:

这决定了薄膜是单晶,多晶,非晶,是真空镀膜技术中的热点问题,具体见下。

主要分类有两个大种类:

蒸发沉积镀膜和溅射沉积镀膜,具体则包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,溶胶凝胶法等等

一、对于蒸发镀膜:

一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并且沉降在基片表面,通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。




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